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分析电接枝技术助力高深宽比TSV方案
随着科学技术快速的发展,电接枝技术在各个当中应用。3D-IC设计者希望制作出高深宽比(HAR>10:1)硅通孔(TSV),从而设计出更小尺寸的通孔,以减小TSV通孔群在硅片上的占用空间,最终改进信号的完整性。事实上,当前传统的TSV生产供应链已落后于ITRS对其的预测。样做的结果要么影响产品的性能,要么使工艺占有成本高得无法接受。 当前,采用一种纳米技术解决方案可实现HAR>20:1的结构,而成本只占传统工艺的一部分。纳米技术(nanotechnology)是用单个原子、分子制造
所属分类:
其它
发布日期:2020-10-22
文件大小:178176
提供者:
weixin_38656609
电接枝技术助力高深宽比TSV
3D-IC设计者希望制作出高深宽比(HAR>10:1)硅通孔(TSV),从而设计出更小尺寸的通孔,以减小TSV通孔群在硅片上的占用空间,最终改进信号的完整性。事实上,当前传统的TSV生产供应链已落后于ITRS对其的预测。
所属分类:
其它
发布日期:2020-10-24
文件大小:198656
提供者:
weixin_38536349