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  1. 分析电接枝技术助力高深宽比TSV方案

  2. 随着科学技术快速的发展,电接枝技术在各个当中应用。3D-IC设计者希望制作出高深宽比(HAR>10:1)硅通孔(TSV),从而设计出更小尺寸的通孔,以减小TSV通孔群在硅片上的占用空间,最终改进信号的完整性。事实上,当前传统的TSV生产供应链已落后于ITRS对其的预测。样做的结果要么影响产品的性能,要么使工艺占有成本高得无法接受。   当前,采用一种纳米技术解决方案可实现HAR>20:1的结构,而成本只占传统工艺的一部分。纳米技术(nanotechnology)是用单个原子、分子制造
  3. 所属分类:其它

    • 发布日期:2020-10-22
    • 文件大小:178176
    • 提供者:weixin_38656609
  1. 电接枝技术助力高深宽比TSV

  2. 3D-IC设计者希望制作出高深宽比(HAR>10:1)硅通孔(TSV),从而设计出更小尺寸的通孔,以减小TSV通孔群在硅片上的占用空间,最终改进信号的完整性。事实上,当前传统的TSV生产供应链已落后于ITRS对其的预测。
  3. 所属分类:其它

    • 发布日期:2020-10-24
    • 文件大小:198656
    • 提供者:weixin_38536349