摘要：针对普通压电作动器行程较短的缺点，提出一种具有Cymbal结构的复合压电陶瓷作动器的结构设计。通过将压电陶瓷微小的径向位移放大，转换成轴向位移，扩大了作动器的行程。在作动器控制系统设计中，一方面在硬件结构设计中引入了高精度的位移传感器闭环反馈系统，另一方面通过对作动器的输出进行软件补偿的方法，消除了Cymbal型复合压电作动器自身存在的输出磁滞性和非线性的缺点，大幅度提高了系统的开环控制特性，实现了对作动器的高精度控制。实验结果证明系统设计有效。      关键词：压电作动器 微进