电荷耦合器件(CCD)是成像系统的关键器件，CCD器件的点扩展函数(PSF)是整个成像系统PSF的重要部分。采用背部入射、部分耗尽CCD，分析了载流子在CCD中的运动过程，推导了计算CCD的PSF的解析公式。对CCD进行物理建模，用蒙特卡罗方法进行粒子跟踪模拟计算得到了PSF，并能和解析公式计算得到的PSF很好的吻合。系统分析计算了CCD的主要特性参数，如响应度、线性度和调制传递函数（MTF）等。模拟研究了入射光波长和CCD自由层宽度对CCD的PSF的影响，结果表明较窄自由层宽度和长波易得到较好