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白光干涉轮廓仪空间扫描范围自适应规划方法
为提高白光干涉轮廓仪的测试效率,提出了一种空间扫描范围自适应规划方法。构建了相应的测试系统,选择能量梯度函数用于系统最佳干涉位置的定位。使用ViBe算法对最佳干涉位置处电荷耦合元件(CCD)图像中的干涉条纹进行提取,并对提取结果进行二值化处理。实验结果表明,该方法能够准确识别扫描上下限位置。
所属分类:
其它
发布日期:2021-02-04
文件大小:8388608
提供者:
weixin_38522552