针对相移式反射数字全息显微成像技术，在分析、比较现有的几种相移式反射数字全息装置的基础上，提出了一种基于改进型的Linnik干涉仪的相移式反射数字全息显微装置。这种改进型的Linnik干涉仪装置可以实现更高相移精度，能大大改善显微再现像的质量。为了证明该装置的可行性，利用该装置，在实验上实现了USAF-1951分辨率板的表面结构的三维显微成像，获得了清晰、放大的物光波振幅和相位分布。