相移点衍射干涉仪（PS/PDI）是应用于极紫外光刻投影物镜波像差在线检测的高精度检测设备。在介绍国际相关机构PS/PDI研究进展的基础上，重点阐述在干涉仪优化设计、高精度对准、系统误差标定以及干涉图像处理等PS/PDI关键技术研究方面取得的成果。以关键技术研究为基础，开发了一套可见光波段的PS/PDI原理实验装置，并利用该装置检测了极紫外光刻中典型的Schwarzschild投影物镜的波像差，自主开发的20倍缩小Schwarzschild物镜的数值孔径达到了0.2。实验结果表明，干涉仪的重复对准