雅满横向剪切干涉仪是一种很重要的波面检测仪器, 特别是可以对白光的波面进行检测。为了弥补传统雅满横向剪切干涉仪的不足, 提出了一种相移雅满横向剪切干涉仪。它是在雅满横向剪切干涉光路中插入起偏器, 1/4波片和检偏器所形成, 实现了剪切干涉与相移的结合, 能有效地提高测量精度, 可适用于白光的波面检测, 结构简单且操作方便。实验中通过旋转检偏器获得了相移干涉图, 其结果很好地验证了该相移雅满横向剪切干涉仪的有效性。

相移雅满横向剪切干涉仪非常适合于达到衍射极限的光束的波面检测。为了改进现有的在两路剪切光束中直接插入起偏器的相移雅满剪切干涉仪，提出了一种基于偏振合束的相移雅满剪切干涉仪。该剪切干涉仪利用雅满平板前后表面的反射进行分束并形成两路干涉光束，两路干涉光束分别通过剪切平板后偏振合束并进行偏振移相。它保持了常规雅满剪切干涉仪的光路结构，提高了剪切干涉图的对比度，不再存在插入起偏器引入测量误差的问题。构建了改进前、后的两种相移雅满双剪切干涉仪，并进行了相应的对比实验，实验结果很好地验证了基于偏振合束的相移