根据矩孔金属光栅的矢量模式理论,计算了不同入射方向、波长及偏振态情况下衍射场的分布,研究了不同光栅结构(光栅周期、占空比及深度等)对衍射效率、偏振态变化的影响;同时,根据实际需要,加工制作了一批不同深度的矩孔光栅样品,进行了实验测量,并将计算值与实验值进行了比较,两者基本相符。