1 引言 　　MEMS是微机电系统（Micro-Electro-Mechanical Systems）的英文缩写。MEMS是美国的叫法，在日本被称为微机械，在欧洲被称为微系统，它是指可批量制作的，集微型机构、微型传感器、微型执行器以及信号处理和控制电路、直至接口、通信和电源等于一体的微型器件或系统。MEMS是随着半导体集成电路微细加工技术和超精密机械加工技术的发展而发展起来的，目前MEMS加工技术还被广泛应用于微流控芯片与合成生物学等领域，从而进行生物化学等实验室技术流程的芯片集成化。 　　ME

针对星载微型CPT原子钟设计锁频电路系统，并详细分析锁频系统中的调频信号源、鉴相器、校准器等各部分电路模块，最后利用饱和吸收稳频实验说明该锁频系统能够很好地完成激光的稳频，100 s的频率稳定度达到了1．6×10-12，完全满足设计要求。