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  1. 碳化硅( SiC) 器件制造工艺中的干法刻蚀技术

  2. 摘要：简述了在SiC材料半导体器件制造工艺中,对SiC材料采用干法刻蚀工艺的必要性.总结了近年来SiC干法刻蚀技术的工艺发展状况.

  3. 所属分类：制造

    • 发布日期：2020-12-30
    • 文件大小：220160
    • 提供者：jfkj2021