以(CH3)2Si(OC2H5)2为前驱体,采用溶胶凝胶与有机合成相结合的方法,制得稳定性良好的涂膜液。采用旋转涂膜法在掺钕磷酸盐激光玻璃棒端面涂制防潮膜,膜层固化后透过率达96.5%,获得的膜层表面粗糙度优良,均方根表面粗糙度(RMS)为1.659 nm,平均粗糙度(RA)平均为1.321 nm[在激光波长1053 nm,脉冲宽度1 ns条件下膜层的激光破坏阈值可达10～14 J/cm2。经过“神光Ⅱ”高功率激光器物理实验运行,膜层使用期为五年,并且已经在我国“神光Ⅲ”原型装置上试用。