用能量为2.8 MeV、剂量为1.4×1016 ion/cm2的He+在室温(300 K)下注入到晶体材料LiTaO3中,形成了离子注入平板光波导。用棱镜耦合法观察和测量了LiTaO3波导导模的分布,并对退火前后的LiTaO3波导的折射率分布进行了计算和比较。利用背散射沟道技术分析了由于He+的注入而引起的波导表面的损伤。