从几何光学和物理光学出发,对抛物面镜以离轴90°的方式应用于激光束的聚焦光路时,光轴的角度失准和入射光发散角对聚焦光斑造成的影响进行了分析。基模高斯光准直入射时,由于抛物面镜无球差,焦斑的峰值光强将与入射光直径的平方成正比。光线追迹法证明角度失准导致产生一对相互垂直的焦线,由衍射光学知入射的高斯光将转变为类椭圆高斯光,降低了焦面处的峰值光强。抛物面镜对入射角失准的敏感度极高,mrad量级的误差就足以使焦面处的峰值光强降低一半左右。而且,入射光束直径的增大又将大幅度降低对角度失准的容忍度,使焦面处

随着离轴抛物面反射聚焦镜在激光加工领域的广泛应用,如何提高其聚焦光斑质量成为一个亟需解决的问题。理论上,抛物面反射聚焦方式可以消除球差的影响,得到高质量的聚焦光斑。但是抛物面反射镜是最难调整的反射镜系统之一,对光轴失准的敏感度极高。细微的失准引发的像散将大大降低焦斑的光强。为了深化对其的认识,通过几何光学和物理光学的方法,对离轴90°抛物面镜应用于激光聚焦光路时,光轴的角度失准对聚焦光斑造成的影响进行分析。结果表明,细微的角度失准将导致焦斑面积大大增加,从而大大降低了焦斑的光强。并通过二阶矩法证