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  1. 空间光调制器像素尺寸对非球面检测误差影响分析

  2. 空间光调制器(SLM)可以在电驱动等信号控制下, 实时调节振幅、相位、偏振态等信息, 近年来已被尝试用于代替计算全息(CGH)板实现非球面检测。SLM像素尺寸在3.5~20 μm, 远大于CGH板刻蚀分辨率, 使得SLM的相位调制量在像素尺度离散化, 与理想的连续相位存在误差, 带来检测精度的降低。因此, 有必要评估SLM像素尺寸对检测精度的影响, 从而选择合适像素尺寸的SLM。基于菲涅耳衍射原理以及快速傅里叶变换算法, 仿真波面经SLM调制并传播到待测表面的过程, 并探究待测面处生成波面精度与
  3. 所属分类:其它

    • 发布日期:2021-02-07
    • 文件大小:5242880
    • 提供者:weixin_38656226