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  1. 精密长度测量和微定位中的一种激光干涉仪

  2. 本文介绍的干涉仪具有体积小、易加工、抗振性能好、便于可逆计数等优点.不但可以用到高精度的测长机上,而且还可以用于线纹尺检验,精密尺度刻划中的微定位,以及精密丝杆检查等方面.

  3. 所属分类：其它

    • 发布日期：2021-02-09
    • 文件大小：1048576
    • 提供者：weixin_38535221