通过螺旋波等离子体增强化学气相沉积技术沉积了纳米晶（nc）-SiC膜，并获得了强烈的蓝白色光发射。 显微组织分析表明，3C–SiC颗粒嵌入非晶SiC基体中，nc-SiC的平均尺寸为3.96 nm。 主光致发光（PL）带的光子能量高于块状SiC的带隙，这表明光发射主要发生在3C–SiC纳米晶体的量子态中。 另外，非晶SiC的带尾态也有助于光发射。 通过解卷积处理从时间分辨的PL光谱中获得三个衰减过程，并且衰减分量分别对应于量子约束效应（QCE），nc-SiC颗粒的表面状态和非晶SiC的带尾。 QC