在基于夏克-哈特曼波前传感器的深紫外物镜系统波像差检测中，均匀高亮度的照明光束是实现纳米精度波像差检测的关键。采用时域有限差分法和部分相干性理论对随机排列微孔阵列衍射波前的强度对比度进行了优化。与周期排列微孔阵列相比，采用随机排列微孔阵列，可获得更加光滑的衍射波前强度分布；对单个微孔衍射波前的分析表明，微孔直径越大衍射波前强度对比度越大；衍射波前强度对比度在双孔间为74 nm 时达到最大值。分析计算得出，为获得满足纳米精度波像差检测强度对比度要求的波前，随机排列微孔阵列中宜采用直径170 nm