这项工作表明，通过将三种方法与不同机制结合起来，可以增强嵌入SiO2（或Si-nc：SiO2）的Si纳米晶体的光致发光（PL）强度用于开发Si光源的材料可以实现非常高的PL强度。 30层样品通过交替将SiO和SiO2蒸发到Si（1 0 0）衬底上来制备Si-nc：SiO2 / SiO2 然后在1100 8C下进行热退火。 这种多层样品具有相当高的PL效率格林汉姆（Greenham）方法测得的结果是14％，是同一层单层方法的44倍过量的硅含量。 基于该多层样品，对CeF3掺杂和氢进行处理随后进行钝