据联合化工公司光物理学分部的塔克西奥（Sam A. Tnccio)和哈特福德（Allen Hartford Jr.)说，用CO2激光照射三氟甲烷(CF3H)，获得了激光同位素分离的最髙的浓缩因数。塔克西奥博士说，他们有选择地只离解带氘的分子，获得达一万倍的浓缩;此方法“在商业上有很高的潜力”。以前劳伦斯·利弗莫尔实验室马林(Jack Β. Marling)和赫尔曼（Irving P. Herman)在GF3CHCl2(氟利昂123)上获得的最高浓缩因数为1，400。