采用聚焦毛细管将通用的极紫外光源引出法兰口之外，并控制光束发散角，以匹配平行光管孔径角。分析计算了直接用光源照亮靶盘的情形，光束不能充满有效主镜面上的直径；设计使用聚焦毛细管，使光束充满平行光管孔径角，并对极紫外平行光管有无毛细管两种状态进行测试。测试结果表明，采用聚焦毛细管后，扩大了光束的发散角，并且无毛细管的最大光子计数接近1×105个，加毛细管后最大光子计数能达到1×104个。测试数据说明极紫外聚焦毛细管的传输效率可以达到10%，能够满足极紫外平行光管的各项技术指标要求。