电激发的ArF/XeF准分子激光器中，在产生准分子辐射之前，观察到了稀有气体及氟原子谱线的激光发射。一些Ar/Xe的谱线终止于亚稳能级，它们对于了解ArF/XeF准分子的形成有很重要的意义。观察到了五条新的氟原子激光谱线。讨论了这些脉冲工作的原子、分子激光谱线在研究高气压放电条件下准分子态激发动力学的作用。