为满足精密测量领域精度高、可靠性强、实时性好的测量要求, 提出一种基于Zemax仿真的激光追踪测量光学系统能量分析方法。根据激光追踪测量光学系统原理, 建立激光追踪测量光学系统能量模型, 利用Zemax仿真分析非理想光学元件对光学系统能量的影响。仿真结果表明, 干涉分光镜的分光比为5∶5且追踪分光镜的分光比为7∶3时, 四路干涉信号能量接近, 条纹对比度达到0.89, 干涉效果最好。偏振分光镜反射率在非理想条件下, 四路干涉信号的条纹对比度会下降。偏振分光镜透射率在非理想条件下不影响四路干涉信号