基于压电振动的能量收集对于低功率无线传感器网络节点的耐用且可靠的电源而言，是一种有前途的替代方案。 然而，提高与压电振动相关的能量采集器的能量转换效率与结构参数和材料密切相关，已成为当务之急。 本文提出，建模，优化和制造了一种微机电系统（MEMS）悬臂式氮化铝（AlN）振动能量收集器。 通过具有优化Craft.io参数的脉冲直流磁控溅射，沉积了c轴取向的AlN压电薄膜。 此外，详细推导了耦合分布参数模型，并通过ANSYS有限元分析对其进行了验证，并将其应用于结构参数和载荷阻力的优化。 最后，该器