干涉图的处理是光干涉计量中的关键技术。现代干涉测量技术具有高精度、非接触性和大视场等的测量优点。采用泰曼-格林型干涉系统，建立被测物与干涉相位之间的数学模型，通过MATLAB软件，实现对被测参数的自动化测量。本文基于二维快速傅里叶方法的基本原理提出了一种新的相位解包算法——菱形种子算法¬。该算法通过识别一个种子点，然后依次向相邻四点扩展，再把这四个点作为第二批种子点，依次向各自的四点邻域扩展，以菱形轨迹遍历所有的有效信息点，以到达整个图象的相位解包。本文采用该算法测量薄膜样片的厚度，该算法测试

干涉图的处理是光干涉计量中的关键技术。现代干涉测量技术具有高精度、非接触性等的测量优点。干涉图的处理是干涉测试中的重要环节，本文对干涉测量术中干涉图处理的关键技术进行了总结，把干涉图处理的关键技术归纳为：去除噪声、边缘提取、区域延拓以及相位解包算法。运用这些关键技术编制算法处理软件，可实现对干涉图的处理，从而获得被测物的面形分布，实现对被测物的自动化测量。本文采用这些算法测量薄膜样片的厚度与ZYGO干涉仪测试结果比较，PV误差为0.0364λ，RMS最大误差为0.002λ，说明运用该算法虽然处

利用现代干涉测量方法测量薄膜厚度具有全场测试、高精度和非接触性测量的优点,其核心是用合理的算法从干涉图中获得所需的被测面面形及参数。该方法的基础和关键是对所采集到的干涉图进行图像预处理。就干涉图的采集及其预处理技术提出了一种干涉图预处理的方法,该方法利用数学形态学对干涉图进行有效区域的边缘提取,利用二维快速傅里叶变换迭代法对干涉图进行区域延拓,并采用非加权离散余弦变换(DCT)最小二乘算法对干涉图进行波面统一,最终恢复出薄膜的被测面形,为后续精确获取薄膜厚度信息奠定基础。对一个实际SiO

现代干涉测试的核心是用合理的算法处理干涉图而获得所需的面形及参数。由于常见的相移法要通过移相器有规律地移动采集多幅干涉图并数字化后求取波面的相位分布，这样必然引入由于移相器的线性及非线性误差所带来的计算误差，因此需要事先对移相器进行标定。采用了数字叠栅方法，利用一幅静态干涉图与一个正弦光栅的四幅光强分布图叠加，从而实现相移式动态干涉测试的效果，借助于相移法处理干涉图原理，可获得波面相位分布，从而实现对薄膜厚度的测量。由于正弦光栅的初始相位是由计算机产生的，所给出的相位移动不含任何移相误差，因此可