研究了衍射光栅的闪耀特性，并对光栅衍射过程中的衍射异常现象进行了分析。采用严格的耦合波矢量理论，分析了包括矩形光栅、锯齿形光栅、三角形光栅等常用的不同槽型结构光栅的闪耀特性，并与标量衍射理论的计算结果做了对比分析。当波长约为0.5倍光栅周期时，光栅表现出明显的偏振现象。研究表明，锯齿形光栅具有优异的闪耀特性，衍射效率可达90%以上。与锯齿形光栅相比，三角形光栅加工难度低，同时由于其结构的不对称性，其+1级与-1级衍射光具有不同的闪耀波长。分析了光栅衍射异常现象产生的原因、异常波长位置以及衍射效率