只有焦平面始终精确保持不变，自动聚焦系统才能以需要的复现性测出结构的实际宽度。此外，跟手动调焦相反,它能大大缩短测量所化的时间，因为自动调焦系统能找到预定的焦平面位置。釆用自动调焦系统除了纯技术需要之外，还考虑到经济因素。一个操作人员每天要对掩模和晶片进行几百次检验或测量，上述装置可以提高它的工作效率，将省下的时间用于更紧张的检验或测量。