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  1. 超分辨在共焦三维形貌检测术中的应用

  2. 通过对共焦三维形貌检测术的分析，根据超分辨理论，在共焦系统中加入环形光瞳滤波器，以期延长系统的动态检测范围，并提高系统的横向分辨率。理论和实验结果表明该方法在适当牺牲轴向分辨率的条件下，能有效地延长系统的动态检测范围，且提高其横向分辨率。

  3. 所属分类：其它

    • 发布日期：2021-02-11
    • 文件大小：119808
    • 提供者：weixin_38642285