利用KrF超短脉冲激光器(248 nm, 500 fs, 10 mJ)开展了超短脉冲激光淀积类金刚石薄膜的实验研究, 薄膜生长速率0.02 nm/pulse, 厚度0.5～0.6 μm, 显微硬度55 GPa, 光学透过率优于90%(580～20 μm)。 采用等离子体的时间-空间分辨的发射光谱技术, 给出了等离子体的粒子成份以及等离子体的时间-空间的演化图像, 以及在不同激光参数条件下等离子体特性的变化, 发现超短脉冲激光的等离子体有能量高、 持续时间短(高通量)的特点, 适合类金刚石薄膜的淀