Nd:YAG激光干涉术并非新事，但最近由于采用二极管泵浦的Nd:YAG激光器，有希望增加1.06 μm干涉测量的实际效用。Zygo公司计量产品销售经理B. Truax指出，中场公司(Middle-field)提供Mark I型标准红外(1.06 μm)干涉仪样品已有五年，但此系统销量不大，主要原因是弧光灯泵浦的Nd:YAG激光器难以获得稳定输出。尽管使用了水冷共振腔，但激光器产生大量热能，几乎要对激光腔连续调整。