通过使用React蒸发将非晶Er（2）O（3）膜沉积在Si（001）衬底上。 本文报道了在氧气气氛中，随着退火温度的变化，结构，形态和电特性的变化。 X射线衍射和高分辨率透射电子显微镜测量表明，即使在700摄氏度退火后，薄膜仍保持非晶态。在450摄氏度退火的Er（2）O（3）薄膜的累积区域中的电容高于该薄膜。沉积的薄膜和在其他温度下退火的薄膜。 提出了Er（2）O（3）/ ErO（x）/ SiO（x）/ Si结构模型来解释结果。 退火后的薄膜还表现出低的漏电流密度（在-1 V偏压下约为1.38