提出了一种用于微机械惯性传感器的四阶低失真低通sigma-delta（σδ）调制器。所提出的单环单比特反馈调制器通过前馈路径进行了优化，以减少非线性和功耗。该IC采用标准的0.6μmCMOS技术实现，并以3.846 MHz的采样频率工作。带有23个焊盘的芯片面积为2.12 mm2。实验结果表明，在128的过采样率（OSR）下，信噪比（SNR）为100 dB，动态范围（DR）为103 dB，在9.8 kHz时的输入信号幅度为-3.88 dBFS。在5 V电源下的功耗为15 mW。