杨存永， 汪锁发， 赵知夷(中科院微电子研究所， 北京 100029)摘要：对光电发射模块中激光器与光纤的无源耦合作了研究。利用成熟的100mm硅工艺研制成功了无源耦合用硅基平台，并可以批量生产。在此基础上利用倒装工艺实现了激光器与单模光纤的无源耦合，出纤光功率达到了毫瓦级，且经过37次高低温冲击性能不变。 关键词：硅基平台；无源耦合；V型槽 中图分类号：TN751.1；TN248 文献标识码：A 文章编号：1003-353X(2005)01-0066-031 引言 随着个人通信由单纯的语音向多