数控光学加工的收敛效率与很多因素有关，例如算法、参数设置和磨头磨料等。提出一种高效的局部反卷积加工算法，把面形误差划分成待加工区域和非加工区域，对每一待加工区域进行加工轨迹规划，在局部区域内沿加工路径进行反卷积运算得到磨头驻留时间分布，依据最接近点原则对各加工区域进行衔接。大大提高了磨头的有效加工时间与总运行时间的比率，从而使整体加工效率也大大提高，并且中频误差也得到了一定程度的抑制。