摘 要: 建立了热释电钽酸锂薄膜红外探测器理论模型, 用五层薄膜系统模拟了探测器结 构, 用钽酸锂晶体参数, 模拟了探测器结构参数与探测率等性能指标之间的关系, 研究了硅衬底厚 度和钽酸锂薄膜厚度对探测器性能的影响。模拟结果显示, 硅衬底彻底腐蚀形成悬空结构是减小 探测器热传导损耗的最有效途径; 热释电钽酸锂膜层越薄, 器件探测率越高。探测器电压响应同时 取决于钽酸锂膜层厚度和探测器外接电路参数。使探测器整体性能最佳的钽酸锂膜层厚度为1~ 2Lm。