通过利用表面等离子体激元波（SPW）在镀银（Ag）包覆的紫外线（UV）平面波导的近表面上的干扰，已经实现了一种新的亚微米光刻工具。 波长为325 nm的激光束入射到波导纤芯中，并在波导纤芯和覆层之间的界面上遭受了一系列的全内反射。 入射光和反射光引起两束SPW沿相反方向传播，它们相互干扰并形成驻波作为亚微米光刻工具。 使用近场扫描光学显微镜（NSOM）测量波导的Ag层近表面的固定波场的强度分布，并与通过使用时差有限时域（FDTD）模拟获得的理论值相吻合。 并使用此亚微米光刻工具在自加工混合SiO