为实现曝光系统均匀照明的目标，基于非成像光学，提出了一种阵列型模组的匀光照明系统优化设计方法。该方法首先通过对单模组的光学设计，实现半发散角度和阵列间距的初步计算，然后通过TracePro软件的Scheme宏语言和优化引擎相结合，实现对模组阵列间距的进一步优化，从而实现对整个光学系统的均匀照明设计。光源采用日亚紫外LEDSTS-DA1-2394E，阵列模组个数为5，阵列纵向间距为28 mm，横向间距为24 mm。该光学系统通过TracePro软件模拟仿真和实验结果表明：在距光源300 mm的距离