随着更严格的颗粒控制成为必要，VLF型工作台就产生了一些缺点。其中主要是由于车间中众多工作人员的移动而产生的易污染性。进出于加工车间的工作员对所有流程的工作台都存潜在污染。 把加工车间分割为不同的隧道可解决人员污染问题（图5.11）。这时过滤器被装于车间天花板上，而不是在单独工作台中，但是起的作用相同。经过天花板中的过滤器流入的空气可保持持续洁净，并且会降低人员产生的污染，这是因为减少了工作台周围的工作人员。但这种方法的缺点是建造费用较高，而且不适于工艺改动。 图 5.10立式空气层流-蒸气-排

传统的洁净室布局是舞厅式的设计。它由各个工艺隧道向中央走廊敞开的方式组成。现代设计是由一些小型局部洁净车间或主要工艺区域围绕着一个中心地区组成，而由中心地区提供物料和人员。 这种规划一般设计为两层，厂房第一层安置厂务设备与物料，第二层是加工车间。 现在有一种三层加工车间的概念，厂务设备分装在第一、二层，这种方法的优点就是降低整体厂房占地面积。