为了提高地震检波器的检测灵敏度,增强其性能可靠性,使其体积微型化,利用集成光学原理设计研制了迈克尔逊干涉芯片,并与光纤－质量块简谐振子、光源、光电探测器制成迈克尔逊干涉型加速度地震检波器,检波器具有灵敏度高、频带宽、重量轻、抗电磁干扰等优点,设计参数相位检测灵敏度Δ??/a为1.1×10-2 rad/(m?s-2),测试结果表明,在工作频带0～1065 Hz内,振动与检波器输出信号吻合良好,达到设计要求。