摘 要： 集成电路静电放电模拟器是微电子元器件可靠性筛选的重要设备，通过模拟静电放电对器件的抗静电能力进行筛选。本文在分析静电放电模拟器工作原理的基础上，利用高频电流探头和高速率采样示波器实现了对模拟器的校准。文章还并结合校准实例，对测量不确定度进行了评定。 　　1 引 言 　　集成电路静电放电模拟器是利用阻容放电网络模拟人体放电， 实现对微电子元器件抗静电放电能力的分级。 集成电路静电放电模拟器在国内的应用非常普遍， 是微电子元器件可靠性筛选必不可少的设备。国内外相关标准在集成电路静电放电