叠层结构是提高硅基薄膜太阳电池效率和稳定性的有效方法，其中子电池的电流匹配是提高叠层电池效率的关键，而中间层技术能有效地改善子电池电流的匹配情况。介绍了非晶硅/微晶硅叠层电池的中间反射层和隧道结的结构、特性及材料种类，结合两者的理论基础提出隧穿反射层的概念，分析其工作原理并给出了薄膜材料的选择原则和范围。隧穿反射层在叠层结构中不仅起到常规中间反射层的作用，解决电池内部的陷光问题，还可优化叠层太阳电池的隧道结，解决子电池对光生载流子的有效收集问题。