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搜索资源 - 非球面测量中零位计算全息的测量不确定度分析研究
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非球面测量中零位计算全息的测量不确定度分析研究
非球面在光学系统中具有非常重要的作用。基于零位补偿计算全息(CGH)的干涉测量方法,因精度高、信息量大、调校方便,在光学计量和制造业领域受到广泛重视。以F数为4抛物面为测量样品,以光学计量领域比较成熟的平面、球面波象差,采用自准直方法,测出抛物面面形波象差;再用零位补偿CGH方法测量同一块样品,研究零位补偿CGH的误差传递数据。通过主要原理误差分析与计算,在光学熔融石英平面基底上制作零位补偿CGH,测量不确定度达到λ/10\[峰谷值(PV), λ=0.6328 μm\],满足非球面波象差光学计量
所属分类:
其它
发布日期:2021-02-09
文件大小:2097152
提供者:
weixin_38644233
基于计算全息的光学自由曲面测量不确定度分析
光学自由曲面元件如离轴非球面等在现代光学系统中起到了越来越重要的作用。计算全息元件(CGH)可产生任意形状的波前,能够很好地应用在光学自由曲面的零位补偿干涉测量中。针对一离轴椭球面为测量样品,以光学计量领域比较成熟的Offner补偿器法,测量离轴非球面母镜的面形偏差,进而获得离轴椭球面的面形偏差;再将离轴椭球面通过旋转平移,作为自由曲面元件,在平面基板上设计CGH对其进行零位补偿测量,研究零位补偿CGH的误差传递数据。通过主要原理误差分析与计算,在光学熔石英平面基底上制作零位补偿CGH,测量不确
所属分类:
其它
发布日期:2021-02-07
文件大小:3145728
提供者:
weixin_38710566