静电一直以来就是半导体和面板行业关注的问题，由于其产生的静电释放和吸附会造成的元件损伤进而影响生产产品良率。 　　以面板行业为例，玻璃面板在制造工艺过程中不断被摩擦、移动、吸附、加压、分离、加热、冷却等而持续产生静电，在特定的情况下就会发生静电放电现象。由于面板大尺寸、高集成度、静电分布不均匀、测试空间狭小、测试距离远，所以传统手持式静电场测试仪难以量测到准确的静电电压数值，不能满足当前面板工艺的检测要求。 　　因此，美商卫利引进了日本Hanwa公司全新的在线静电检测设备（如图1所示），它采

静电一直以来就是半导体和面板行业关注的问题，由于其产生的静电释放和吸附会造成的元件损伤进而影响生产产品良率。 　　以面板行业为例，玻璃面板在制造工艺过程中不断被摩擦、移动、吸附、加压、分离、加热、冷却等而持续产生静电，在特定的情况下就会发生静电放电现象。由于面板大尺寸、高集成度、静电分布不均匀、测试空间狭小、测试距离远，所以传统手持式静电场测试仪难以量测到准确的静电电压数值，不能满足当前面板工艺的检测要求。 　　因此，美商卫利引进了日本Hanwa公司全新的在线静电检测设备（如图1所示），它采