提出了一种新的制备光栅的方法，利用800 nm的飞秒激光扫描蒸镀在石英玻璃衬底表面的金薄膜，通过烧蚀金薄膜在衬底表面形成衍射光栅。用波长为532 nm的激光照射光栅，测量其一级衍射效率，测得的衍射效率最高为6.98%。通过改变激光扫描速度、激光功率、光栅周期等实验参数研究其对制备的光栅的一级衍射效率的影响，结果表明，降低激光扫描速度，减小光栅周期，或增加激光功率都能提高制备光栅的一级衍射效率。