飞秒激光加工单晶硅材料过程中会伴随产生等离子体，通过CCD相机采集等离子体的光辐射信号得到等离子体光斑图像。针对光斑图像边缘与背景区域对比度不明显、信噪比低的特点，对光斑图像进行增强处理，并进一步对光斑图像亮度特征进行分析。首先，对原始光斑图像进行滤波，采用主成分分析方法将其增强，对得到的第一主成分图像进行伪彩色处理，以便于分析其能量分布，并依据其能量分布信息将光斑的核心区域分割出来。其次，分别计算原始光斑图像的质心、长轴以及核心烧蚀区的质心与长短轴，分析图像的几何特征，据此判断激光烧蚀加工的方