高准确度微电流传感器的研制,传感器的制作

ADXL105的特点及工作原理　　ADXL105加速度传感器是Analog Devices公司研制的单轴加速度测量系统，它具有模拟输出、高性能、高准确度的特点。ADXL105内部包含一个多硅表面微处理传感器和BIMOS信号控制电路，故可形成开环加速度测量结构。与其它加速度计相比，ADXL105可以在很大程度上提高工作带宽，并大幅度降低噪声影响，0g偏差和温度漂移也相对较低。测量范围为-5～+5g；且分辨率很高，该器件可以分辨出低于2mg的加速度；ADXL105产生的一个模拟输出电压既可以用来测量