从理论上研究了n型分布布拉格反射镜(n-DBR)的反射率对器件阈值电流、输出功率以及转换效率的影响，得出了最佳反射率。在此基础上研制了垂直腔面反射激光器(VCSEL)单管和阵列器件，采用波形分析法对VCSEL器件的功率进行了测试。在脉冲宽度60 ns，重复频率100 Hz条件下，500 μm口径单管器件在注入电流为110 A时，峰值输出功率达102 W，功率密度为52 kW/cm2，4×4、5×5阵列器件在100 A时，功率分别达到98 W和103 W。对比了单管器件在连续、准连续和脉冲工作条件