自由空间激光通信由于其具有数据传输容量大、传输路径的高度方向性、高保密性的固有优点,使其成为下一代光通信技术的发展方向之一。锥形半导体激光器是自由空间激光通信系统中最重要的光源。主要介绍808 nm锥形半导体激光器的外延结构设计、输出特性、光束质量等。制作的器件总腔长为3.5 mm(脊形长度为800 μm,锥形区长度为2.7 mm),阈值电流为750 mA,斜率效率为0.615 W/A,锥形角度为6°。利用电子束镀膜机在后腔面蒸镀Si和SiO