我们推出了首款带有两个500微米长移相器的高速硅迈克尔逊干涉仪（MI）调制器。 利用的MI光学结构是一种增强型Mach-Zehnder干涉仪（MZI），其双臂均装有反射镜。 MI中的光沿着相移波导来回传播，因此使光载波相互作用的有效长度增加了一倍。 实验证明了调制效率的提高。 我们的MI调制器显示出高效率，而品质因数V pi L pi低至0.72V。 cm接近0.91V。 在-1 V偏置电压下与-6 V相似，约为-1 cm。在25 Gbit / s和30 Gbit / s的速率下进行高速调制，消