为提高激光直写控制系统的定位精度、定位时间和系统响应度，设计了一种数字伺服滤波器。该滤波器以伺服系统的三环PID控制原理为基础，并在设计中加入了具有实际问题性的前馈补偿模块；建立了以TMS3202812处理器组成的数字伺服滤波器模型；并对该模型进行了模拟仿真分析，然后移植到处理器中；最后通过验证，提高了位置定位和速度稳定精度。实验结果表明，整个系统输入与输出时差小于100Ls；无噪音无振荡，效果很好；定位精度误差控制±1μm范围内。

激光直写技术是一种近年来应用广泛的超精密加工技术。该技术是一种利用强度可变的激光束，在基片表面实施有规则的高精度扫描。在扫描过程中，光刻基片随载物平台而运动。因此影响光刻元件的质量取决于载物平台的定位精度以及运动的稳定性，影响光刻元件的快速性取决于系统的响应度。 　　基于数字式伺服的运动控制器是超精密定位系统的关键。由于数字伺服滤波器是数字式伺服的运动控制器的核心，从而数字伺服滤波器的设计将影响系统的定位精度。 　　数字伺服滤波器是指系统的闭环控制与调节采用数字技术，所有控制调节实现软件化。

激光直写技术是一种近年来应用广泛的超精密加工技术。该技术是一种利用强度可变的激光束，在基片表面实施有规则的高精度扫描。在扫描过程中，光刻基片随载物平台而运动。因此影响光刻元件的质量取决于载物平台的定位精度以及运动的稳定性，影响光刻元件的快速性取决于系统的响应度。 　　基于数字式伺服的运动控制器是超精密定位系统的关键。由于数字伺服滤波器是数字式伺服的运动控制器的，从而数字伺服滤波器的设计将影响系统的定位精度。 　　数字伺服滤波器是指系统的闭环控制与调节采用数字技术，所有控制调节实现软件化。调节