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  1. 高重复率、高平均功率窄线宽KrF准分子激光系统的研究

  2. 本文报道—台自制的光学投影亚微米量级微细加工用的KrF准分子激光振荡-放大系统,并对其设计和运转性能加以讨论.该系统在200Hz重复率运转时其谱线漂移小于5×10-4 nm,谱线宽度为2.3×10-8 nm,平均功率达24.4W.

  3. 所属分类：其它

    • 发布日期：2021-02-13
    • 文件大小：2097152
    • 提供者：weixin_38678022